时间：2026-06-05 19:06:48编辑：uibkf
慕德·維爾森（；），慕德荷蘭超級名模。維爾也有參與Gucci、慕德Christian Dior等著名時裝及奢侈品的維爾時裝展。 參考文獻 Models.com Profile 荷蘭女性模特兒慕德她是維爾高級時裝品牌：Ralph Lauren、Valentino的慕德代言人。Chanel、維爾慕德上過Numero及V等雜誌封面或內頁，慕德
随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用省非遗研究会命名第二批省非遗传承研学基地
核心提示
对联，被誉为“诗中之诗”；楹联则是对联中尤为工整对仗、言简意远之作，多刻制、张挂于殿堂、楼阁等古建的楹柱上，长期留存，对延续一个地方的文脉往往有画龙点睛的作用。
阜阳历史文化底蕴深厚，文脉悠远，从古至今涌现出的楹联众多。如何让楹联进一步“联”起阜阳文脉？记者进行了走访。
整理出近千副古楹联
“育德本诸孝悌，英才教以诗书”。这是阜阳市楹联学会微信公众号近日推送的一副古楹联，原是育英小学大门上的楹联。此外，其礼堂还有楹联：“育人教人诗书礼，英物灿如日月星。”
除了简注，这条微信还介绍了育英小学的历史沿革：“育英小学在颍东区正午镇街上，原为义学，后改为农学堂，1911年改名育英小学堂，原址现为正午镇中心小学。”“作者为李华生，阜阳市人，字棠村，清末秀才，诗文俱佳，晚年自号知非居士，作此联时任该学堂管学（校长）。”
这样普及阜阳古楹联的微信推送，阜阳市楹联学会目前已经坚持40多期。
“自去年3月份以来，阜阳市楹联学会一百多名楹联爱好者，已经从阜城及各地古籍中搜集、整理出近千副古楹联，正在陆续向公众推送。”市楹联学会会长张孝玉介绍。
古楹联往往对应阜阳历史上曾经存在的古建。比如在阜阳城区，历史上就有“三皇庙”“神德永思祠”“王惠臣故居”“云亭”“分金台”“文庙”“奎星阁”“文昌阁”等古建，这些建筑上均镌刻有一至数副楹联。
古名胜楹联中，以古颍州西湖为最，除了颍州西湖本身楹联，其周边多个古建如飞盖桥、六一堂、双柳亭、四贤祠、西湖书院、竹间亭、会老堂、环碧亭、画舫斋、欧公祠、宜远桥、望佳桥、望湖亭、清涟阁、聚星堂等均有楹联。如颍州西湖：“十顷平湖，四面浓阴欣乍合；一筋曲水，千秋清颍属欧苏”，飞盖桥：“翠盖每来题柱客，碧波常见荡舟人”。
此外，各县（市）在历史上也曾出现过不少名胜古迹，其上楹联也一一收录。
张孝玉介绍，他们正在谋划，结合阜阳历史上的古楹联，以及近、当代创作出来的楹联，出版一本《阜阳古今楹联选》，“联”起阜阳文脉。
现实中留存不多
“铁浮屠、锐利非常，自来中国横行，独畏我、顺昌旗帜；金兀术、骄狂太甚，妄想坚城趯倒，试问他、多大靴尖”。此联为纪念刘锜大战金兀术、取得顺昌大捷而作，目前，就张挂于阜城刘公祠内。
顺昌军民感戴刘锜功德，顺昌大捷后即在城头为他建立生祠“报功堂”，立塑像以奉之，此即建祠之始，后经历代多次修葺。1939年7月，因抗日被拆除。1941年，道士常华安集资在原址上重建，正殿复塑刘锜、陈规等九人塑像，悬有“南宋屏藩”旧匾及旧联等。随后又遭破坏，塑像楹匾悉毁一空。1980年后，被列为市重点保护单位，并规划重修祠宇，开辟成公园。
在刘公祠，常家后代（媳妇）景萍告诉记者，经常有家长带着孩子前来瞻仰刘锜的丰功伟绩，祠内的这副楹联，也会被孩子们认真记下，在潜移默化中受到爱国主义熏陶。
在颍上尤家花园，多处廊架上刻有原主人尤荫轩所作楹联，其中一联：“漫扫落花，且作庭前锦绣；莫惊啼鸟，聊为园里笙簧”。在临泉长官古镇育才阁，张挂有张蕴华烈士所作楹联：“竖起两根硬骨头，誓与土劣拼死命”……
“遗憾的是，阜阳古楹联，像这样目前在现实中留存的并不多。”张孝玉说，阜阳历史上的名胜古建，有许多已经不复存在，有的历经保护、重新修葺，楹联却又不存。旧有建筑能遗留下古楹联的，少之又少。
如何焕发新光彩
如何让古楹联“焕新”？张孝玉认为，古楹联依附于古建，如今不少古建已经不存，可在复建“古建”中加以应用。比如在颍州西湖景区，阜阳生态乐园，以及景区内复建的诸多仿古建筑上，就可以应用。
“遗憾的是，一些景区复建古建上，原先的古楹联应用并不多，即使有张挂，也不是当初的古楹联，与古建并不对应。”张孝玉说。
“我们常说阜阳历史悠久，人文荟萃，以及欧苏文化，但这些文化在哪里？需要承载物予以呈现。”张孝玉认为，楹联就是其中较好的载体，值得有关部门在保护、复建古建，以及景区景点开发中进一步予以重视，打造“楹联里的阜阳”，“联”起阜阳文脉。
此外，需做好古楹联相关内容的发掘与宣传工作。不少古建及其相关的来龙去脉、典故、史实等如今已不复存在或渐渐湮灭在历史长河中，亟需有识之士或相关部门进行挖掘整理。整理出的楹联、古建相关史实以及历史文化传说等，应通过多种渠道进行宣传，为阜阳的文化脉络增添厚重的一笔。（记者 储继明 通讯员 张亚心 文/摄）
">楹联里的阜阳 ：历史与文化的双重见证
枞阳在线消息 一场秋雨一场寒，走进枞阳县项铺镇枞石园林绿化有限公司苗木基地，阵阵雨滴细密地敲打着叶片，丹桂花苞在雨雾中若隐若现，树木的枝干被冲刷得愈发清亮。
雨雾中，十几个身影披着雨衣穿梭林间，除草、扶正歪斜的幼苗，雨靴踏过泥泞的土地，留下串串深浅不一的脚印，构成一幅生动的“秋雨育苗图”。
“许大姐，这几株茶梅的根部得再培点土，别让雨水泡着了。”基地负责人王绍俊的声音穿过雨幕，雨衣下的衬衫早已被汗水浸湿，“这雨看着不大，可对苗木来说影响也不小，得格外上心。”许保兰直起身，抹了把脸上的雨水和汗水，笑着应道：“王总放心，这活儿干了十多年，门儿清着呢。”回话间便麻利地拿起铁锹，给茶梅根部培上疏松的腐殖土。
“我家就在这附近，平常以照顾家庭为主，得空就来这儿除草、打药、施肥，一年下来也能挣上两万多元。”许保兰一边说着，一边熟练地拔起了杂草，眼神里满是对生活的满足。
多年来，基地带动了周边60多名村民就业，其中脱贫户10余名。 公司的不断发展壮大，为他们提供了稳定的收入来源，让他们在家门口就能实现就业增收。
雨渐渐小了，基地的轮廓愈发清晰。650亩土地被规整地划分成数十个片区，每片苗木的品种、树龄和生长状态，王绍俊都如数家珍，对答如流。“像这批苗子是2018年引进的，从选种、育苗到病虫害防治，我们有一套严格的标准。就像给孩子体检，每周测生长量，每月查病虫害，确保每棵苗出圃时都是‘壮小伙'。”
正这份“育儿般”的精心，让这片土地成了名副其实的“绿色银行”。自2008年王绍俊涉足盆栽种植，到2016年注册枞石园林绿化有限公司，基地从最初的几十亩扩展到如今的650亩，投资超2500万元，培育了沂蒙紫薇、丹桂、红梅、茶花等200多个品种，总量达13万棵，年产值稳定在200多万元。
“这些苗子不仅是商品，更是生态使者。”王绍俊望着雨中愈发青翠的苗木，眼神里满是自豪。截至目前，基地的苗木已扎根于河海职业技术学校的校园、玉堂雨具公司的厂区，还参与了S232公路的喷坡绿化，“它们美化了环境，也让乡亲们的腰包鼓了起来，这就是‘绿色经济'的意义。”
雨停了，阳光穿透云层，洒在湿漉漉的枝叶上，折射出七彩的光芒。许保兰和工友们开始给苗木喷水洗尘，挑拣枯叶。
“下一步，我们打算引进更多新优品种，建智能温室，搞线上销售，延伸产业链。不仅要让苗木长得好，还要让它们走得远，把这里打造成可持续发展的绿色基地。”谈及发展规划，王绍俊话语中充满了信心。
秋日雨后，风过林梢，枝叶轻摇，仿佛在应和着这份憧憬。（桂晨晨）
